Самосовмещающихся — Метка (original) (raw)

Патенты с меткой «самосовмещающихся»

Способ изготовления самосовмещающихся планарных транзисторов

Номер патента: 723984

Опубликовано: 27.03.1996

Авторы: Злыднев, Кремлев, Любушкин, Манжа

МПК: H01L 21/33

Метки: планарных, самосовмещающихся, транзисторов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ САМОСОВМЕЩАЮЩИХСЯ ПЛАНАРНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ, включающий операции маскирования подложки диэлектрической пленкой, вскрытия окон, наращивания поликристаллического кремния, легированного примесью противоположного типа проводимости подложке, формирования базовой области и контакта к ней из поликристаллического кремния, создания эмиттера и металлизацию, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности компановки структур, на нижнюю диэлектрическую пленку наносят поликристаллический кремний, травят окна в пленках до подложки, наращивают низкотемпературный поликристаллический кремний, легированный примесью противоположного типа проводимости подложке, локально маскируют диэлектрической пленкой, не травящейся в травителях для...