Силленитов — Метка (original) (raw)

Патенты с меткой «силленитов»

Состав для полирования силленитов

Номер патента: 1565298

Опубликовано: 20.01.2000

Авторы: Копылов, Кравченко, Куча, Некрасов, Чернушич

МПК: H01L 21/463

Метки: полирования, силленитов, состав

1. Состав для полирования силленитов, содержащий абразивный полирующий порошок и кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемой поверхности, в том числе стойкости к лазерному излучению, в качестве кислоты используют кислоту из ряда: муравьиная, уксусная, молочная, щавелевая, малоновая, винная, лимонная, сульфаминовая или водный раствор по крайней мере одной из указанных кислот с водородным показателем рН < 3 при следующем соотношении компонентов, мас.%:Абразивный полирующий порошок - 0,1 - 5,0Указанная кислота или водный раствор кислота - Остальное2. Состав по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно содержит поверхностно-активное вещество...

Композиция для обработки монокристаллов силленитов

Номер патента: 1577405

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Копылов, Кравченко, Куча, Некрасов, Чернушич

МПК: C30B 29/32, C30B 33/10

Метки: композиция, монокристаллов, силленитов

1. Композиция для обработки монокристаллов силленитов, содержащая полирующий порошок, травитель и воду, отличающаяся тем, что, с целью повышения стойкости полированной поверхности монокристаллов к мощному лазерному излучению, композиция дополнительно содержит комплексообразователь, например трилон Б, и вещество, предотвращающее гидролиз травителя, например хлорид аммония, а в качестве травителя используют хлорид цинка при следующем соотношении компонентов, мас.%:Полирующий порошок - 0,1 - 5,0Трилон Б - 0,5 - 5,0Хлорид аммония - 1,0 - 15Хлорид цинка - 1,0 - 50Вода - Остальное2. Композиция по п.1, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит...