Баттиг — Автор (original) (raw)

Баттиг

Приемный стол для контроля и обработки полупроводниковых пластин

Номер патента: 1359662

Опубликовано: 15.12.1987

Авторы: Баттиг, Диттрих, Оертел, Остерланд, Рюккнагел, Шелер, Шультц

Метки: пластин, полупроводниковых, приемный, стол

...пластину 3, установленную на определенном расстоянии от поверхности стола 1. Полупроводниковая пластина 3 ограниченакоординатами х и у с помощьюупоров 4. Стол 1 представляет собойединый стеклокерамический блок, имеющий на двух ортогональных гранях отражающие поверхности 5 и 6, служащиедля отражения падающих измерительных пучков 7 и 8 лазерных систем 9 и 0измерения пути, Нри помощи лазерныхсистем 9 и 10 измерения пути, которые испускают измерительные пучки7 и 8, центры которых точно находятся в плоскости полупроводниковойпластины 3, возможно позиционирование в двух координатах почти без ошибок. Подложки 2 для полупроводниковой пластины 3 представляют собой всасывающие сопла 11, которые предотвращают скольжение полупроводниковой пластины...