Гонде — Автор (original) (raw)

Гонде

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Номер патента: 1797629

Опубликовано: 23.02.1993

Авторы: Альфред, Антон, Гонде, Грегор, Даниэл, Клаус, Макс, Райнер, Роберт, Рольф, Фридрих, Ханс

...с помощью ионного илиразличныхсортовионовполучаютсяразлич-, электронного луча не требуется высокого 20 ныеЛарморовские:.радиусы,с которымиотнапряжения (типичное напряжение источ- дельные сорта ионов":вращаются вокруг ника 80 В, типичное напряжение на мишени магнитных силовыхлинйй (напрймер; Аг = 4 700 В),:см, С см; принапряженности матнитПлазменный поток можно получать ного поля 100 Гс), Это позволяет разделять больших размеров и любой формы; Скайи различйыесорта.ионов металлов."рующее устройствоне требуется. БлагодаряСледует такжедобавить,"что"в;устройсттому, что плазменный поток сам по себе ве по ФигЛ, предусмотрен штуцер 38;черезвляется квазинейтральным, то управление который, вводится газ"в область между мим значительно...