H01J 3/12 — устройства для управления поперечным сечением луча или пучка; устройства для корректировки аберрации пучка, создаваемой, например линзами (original) (raw)

Система для фокусировки заряженных частиц из четырех квадрупольных линз

Номер патента: 190503

Опубликовано: 01.01.1967

МПК: H01J 3/12, H05H 7/08

Метки: заряженных, квадрупольных, линз, фокусировки, частиц, четырех

...квадрупольных линз), обладающая нулевой хроматической аберрацией и позволяющая получить астигматическое изображение предмета с равными увеличениями во всех направлениях (оптический аналог аксиально-симметричной системы).Для получения ахроматического режима напряжение /) и ампер-витки возбуждения (и/) линзы должны быть связаны между собой следующим соотношением:04 Кк / т(тс+) ф в (2 тсв+в)3 1пт К , тм( т 2 с 4+ (тсз+ в)" е - масса покоя и энергия заряж ной -частицы; с - скорость света;т, и г - радиусы апертуры электростатиче.ской и магнитной линз (расстояние от оптической оси до электрода или полюса);К - коэффициент, зависящий от фор.мы электродов и полюсов (п 1 гиперболических полюсах К. ,= = К=1).Распределение электричесго полей...

Способ коррекции хроматической аберрации в системе из двух электронных линз

Номер патента: 764004

Опубликовано: 15.09.1980

Авторы: Игнатьев, Купкин, Румянцев

МПК: H01J 3/12

Метки: аберрации, двух, коррекции, линз, системе, хроматической, электронных

...ыа экране от его потенциала.Электронно-оптическая система состоит изкатода 1, модулятора 2, первого 3 и второго 4 электродов би потенциальной линзы, магнитной фоку сирующей катушки 5.Электронный пучок 6, формируемый иммерсиоиным обаективом, фокусируется иа экране 7 при отображении кросовера 8 пучка в пятно 9 малых раз-.764004 Формула изобретения ВНИИПИ Заказ 6295/46Тираж 844 Подписное меров. При этом второй электрод 4бипотенциальной линзы электрическисоединен с экранам, так что их потенциалы одинаковы О = ОВ основе способа лежит характеризменения смещения гз при колебанияхпотенциала экрана (фиг.2)., 5Смещением г при определенных доЭпущениях можно характеризовать хрома"тическую аберрацию, которая создаеткружокрасбаянйя радиусом г...