Карачунская — Автор (original) (raw)

Карачунская

Состав для пленочного фоторезиста

Номер патента: 523380

Опубликовано: 30.07.1976

Авторы: Гузь, Карачунская, Хорт, Шерстюк

...кислота 36 - 52Фотоинициатор, напримербензоин 1 - 30Пластификатор - бутанол 5 - 2 Сенсибилизатор и ингибитор, например красительметиленовый синий 0,01 - 2Растворитель, например этиловый спирт 300 в 4Композицию такого состава наносят на полиэтилентерефталатную пленку, слой высушивают и к нему прикатывают защитную полиэтиленовую пленку. Адгезия слоя хорошая к обеим пленкам, Перед использованием пленочного резиста полиэтиленовую пленку отделяют и резистный слой прикатывают вместе с полиэтилентерефталатной пленкой к подложке, фоторезист экспонируют через фото523380 Формула изобретения 20 Составитель Б. Сорокин Корректор Н. Аук Редактор Т. Никольская Техред Е. Подурушина Заказ 169812 Изд. Ио 1509 Тираж 575 Подписное,ЦНИИПИ Государственного...

Способ изготовления фоторезиста

Номер патента: 499548

Опубликовано: 15.01.1976

Авторы: Бабяк, Гузь, Карачунская, Хорт, Шерстюк

МПК: G03F 7/16

Метки: фоторезиста

...выходит пленоч 15 20 25 Дата опубликования описан Предлагаемое изобретение относится к способу получения фоторезистов, используемых в радиотехнике, электронике, приборостроении при изготовлении печатных плат.Известны фоторезпсты, которые изготовляют путем нанесения на непрерывно движущуюся металлическую или другую подложку, например медненую плату, растворов полиамидной фотополим ризующейся с последующей сушкой композиции. Эта стадия в производстве печатных плат является мало производительной, трудно поддающейся нормализации и автоматизации, вследствие чего при поливе фотополимеризующегося слоя, его сушке, экспонирования и проявлении часто неизбежен брак и, как правило, перед травлением требуется дополнительная ретушь,Цель...