Карпиевич — Автор (original) (raw)

Карпиевич

Способ формирования межуровневой изоляции интегральных схем из борофосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 1780467

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Зайцев, Кабаков, Карпиевич, Козлов, Красницкий, Турцевич

МПК: H01L 21/76

Метки: борофосфоросиликатного, изоляции, интегральных, межуровневой, стекла, схем, формирования

Способ формирования межуровневой изоляции интегральных микросхем из борофосфоросиликатного стекла, включающий загрузку кремниевых подложек со структурами интегральных схем в реактор, нагретый до 600-700°С, вакуумирование реактора, раздельную подачу в реактор паров тетраэтоксисилана с азотом или кислородом посредством испарителя-барботера при 30-60°С, фосфина с парами триметилбората в инертном газе и кислорода, наращивание пленки борофосфоросиликатного стекла требуемой толщины с содержанием фосфора 2-5 мас.% и бора 3-6 мас.% при давлении 15-100 Па и соотношении ингредиентов фосфин-кислород более или равном 0,2 при температуре нагрева реактора, оплавление борофосфоросиликатного...

Способ встроенного диагностирования технического состояния тормозов транспортных или тяговых машин и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 2003530

Опубликовано: 30.11.1993

Авторы: Гришкевич, Карпиевич, Кравцов, Лебедев, Маханьков, Черванев

МПК: B60T 17/22

Метки: встроенного, диагностирования, машин, состояния, технического, тормозов, транспортных, тяговых

...технического состояния тормозов транспортных или тяговых машин; на фиг.2 - разрез А - А на фиг.З, на фиг,З - тормозной механизм с подвижным суппортом; на фиг.4 - устройство для встроенного диагностирования технического состояния тормозов транспортных или тяговых машин, аксонометрия; на фиг,5 - электрическая схема микропроцессорного контроллера,Устройство для встроенного диагностирования технического состояния тормозов транспортных или тяговых машин включает в себя электронно-логический блок, датчики давления Д 1, Д 2, ДЗ, Д 4 для каждого колеса, датчик Д 5 включения сигнала торможения, измерители тормозного момента ИТМ 1, ИТМ 2, ИТМЗ, ИТМ 4 на каждом колесе и тормозной механизм с подвижным суппортом фиг,З),Электронно-логический блок...

Влагомер

Загрузка...

Номер патента: 1380410

Опубликовано: 30.08.1991

Авторы: Карпиевич, Простатин, Федорако, Ястребов

МПК: G01N 7/00

Метки: влагомер

...штуцеры 8,Влагомер подключается, например,к переходной зоне 9 котла через трубопроводную линию 10, содержащую пробоотборник 11 и сборное устройство 12.25Влагомер работает следующим образом.Отбор пробы двухфазного потокапроизводится пробоотборником 11 передпереходной зоной 9 котла в размере2-4 Е от общего расхода. Эта проба потрубопроводной линии 10 поступает всосуд 1 и проходит через сепаратор 5,где обеспечивается улавливаниемелкодисперснкк примесей. и выравкивание двухфазного потока по сечению перед эавихрителем 6. Пробавлажного пара, пройдя завихритель 6,разделяется на жидкую и паровую фазы.Жидкая фаза стекает по внутренней 40стенке корпуса в полость мерительногососуда, ограниченного перфорированнойтрубкой 2, а паровая фаза...