Малакаускас — Автор (original) (raw)

Малакаускас

Устройство для измерения концентрации и подвижности носителей тока в полупроводниках

Загрузка...

Номер патента: 1038891

Опубликовано: 30.08.1983

Авторы: Виткус, Лауринавичюс, Малакаускас, Пожела

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: концентрации, носителей, подвижности, полупроводниках

...4, Суммарный сигнал детеклупроводниковых образцов произволь- тируется детектором 5 и подается на, ной формы и имеет нйэкую точность. вход усилителя 15. с выхода усилителяцель изобретения - обеспечение иэ-, 15 сигнал поступает на двухкоординат.мерений параметров полупроводниковых Зо ныйсамописец 16, .на его у-вход., образцов произвольной Формы при позы- на.Х-вход которого .подается ыапряже-шении точности. ние с датчика 17 магнитного поля.указанная цель достигается тем, С изменением величины магнитного по"; что в предлагаемом устройстве измери- ля изменяются фаза и амплитуда протельное плечо образовано двумя отрезшедшего через исследуемый полупроводками металлических волноводов, на об- никовый образец 8 сигнала, На двухращенных друг к...