Никулов — Автор (original) (raw)
Никулов
Способ получения сверхтонких пленок ниобия
Номер патента: 1485972
Опубликовано: 20.02.2000
Авторы: Марченко, Никулов, Розенфланц, Старков
МПК: H01L 39/24
Метки: ниобия, пленок, сверхтонких
Способ получения сверхтонких пленок ниобия, включающий напыление и анодное окисление, отличающийся тем, что, с целью повышения временной стабильности пленок, анодное окисление первоначально проводят при плотности тока, не превышающей 0,3 мА/см2, до достижения заданной толщины пленки, а затем в режиме постоянного напряжения в течение 30 - 40 мин.
Способ получения омического контакта
Номер патента: 1533567
Опубликовано: 10.03.1997
Авторы: Маркин, Никулов, Рябов, Снегирев
МПК: H01L 21/223
Метки: контакта, омического
Способ получения омического контакта к полупроводниковой структуре, включающий эпитаксиальное наращивание приконтактного слоя из газовой фазы при пониженном давлении сильнолегированного бором слоя кремния и нанесения системы металлов, отличающийся тем, что, с целью повышения качества контакта путем снижения переходного сопротивления контакта, приконтактный слой формируют из газовой смеси, содержащей водород, диборан и кремнийсодержащий компонент при следующем соотношении реагентов, об.Кремнийсодержащий компонент (в пересчете на кремний) 0,05 1,0Диборан 0,0005 0,001Водород Остальноенаращивание проводят при 950 970oС, отключают нагрев и повышают давление водорода в реакторе до атмосферного не более, чем...
Игрушечная лошадь
Номер патента: 2004298
Опубликовано: 15.12.1993
Авторы: Лобчук, Никулов, Русаковский
МПК: A63G 19/02
Метки: игрушечная, лошадь
...типа. Движители 21 и 22 включают в себя кривошип 23, соединенный шарнирно с кри волинейной опорой 24, изгиб Б которой направлен в сторону, противоположную движению (фиг. 1) и соединен шарнирно с одним концом стержня 25, другой которого соединен шарнирно с неподвижной относи тельно полукорпуса 2 стойкой 26. Кривошипы 17 и 23 повернуты друг относительно друга на 180, что позволяет при одинаковом направлении вращения кривошипов 17 и 23 реализовывать противофазное движе ние движителей 15 и 16 относительно движителей 21 и 22, реализуя тем самым походку типа "галоп".Поперечный вал 9 (фиг. 1,2) оборудованколенами 27 и 28, соединенными с толкате лями 29 и 30, другие концы которых соединены с коленчатым валом 31, снабженным педалями 32,...
Способ выявления слоев эпитаксиальных структур кремния
Номер патента: 1827694
Опубликовано: 15.07.1993
Автор: Никулов
МПК: H01L 21/66
Метки: выявления, кремния, слоев, структур, эпитаксиальных
...р,- р- области,приложенный к и+и области положительныйпотенциал относительно катода оказывается более низким по сравнению с потенциалом рр+,г р",;" р - области, Это приводит ктому, что во время проявления шлифа и-область структуры не изменяет окраску, а и+область окраску цвета изменяет вследствиеболее легкой окисляемости.Таким образом после проявления шлифа окрашенными являются и", р, р+ рслои. Неокрашенными остаются и-, р слои. Соседствующие р и р -слои имеютразличную окраску и могут быть измереныраздольно.Время выдержки структуры в растворебез подачи напряжения, равное 1 - 3 с,берется минимальным, поскольку естественный окисел, толщина которого не более50 А стравливается практически мгновенно.Нижний предел электрического напряжения...
Установка для газовой эпитаксии полупроводниковых соединений по мос-гидридной технологии
Номер патента: 1673653
Опубликовано: 30.08.1991
Авторы: Исаев, Никулов
МПК: C30B 25/14
Метки: газовой, мос-гидридной, полупроводниковых, соединений, технологии, эпитаксии
...8, калорифер, дросселирующий клапан 10, фильтр 9 и выбросом через предохранительный клапан 15 в атмосферу с поджигом водорода в факеле 14. Парогазовая смесь в трубопроводе сброса, проходя через регулятор 18 давления, калорифер, электромагнитный клапан 16, фильтр 9, откачивается либо насосом б, либо, минуя насос б, при закрытом клапане 7 попадает в атмосферу, проходя через электромагнитный клапан 21 и предохранительный клапан 16. Если процесс эпитаксии в реакторе 2 осуществляют при атмосферном давлении, то парогазовая смесь после реактора 2 обычно проходит через оба калорифера, При этом все электронамагниченные клапаны, кроме клапана 7, и дросселирующий клапан 10 открыты и парогазовая смесь проходит через предохранительный. клапан 16....
Состав для изготовления холодных катодов
Номер патента: 553695
Опубликовано: 05.04.1977
Авторы: Иванова, Никулов, Фарафонова
Метки: катодов, состав, холодных
...При введении сурьмы в количествах выше 1,5 вес. /о происходит медленное падение проводимости. При уменьшении содержания 2ЗЬС 1 з 2 НгО в исходном растворе с 4 до 1 вес. /о проводимость ЯпОз увеличивается в 1,4 раза, в то время как при снижении содержания ЯЬС 1 з 2 Н,О с 1 до 0,25 вес, % удельная проводимость ЬпОз уменьшается в б раз.При использовании растворов, содержащихболее 4% с 1 ЬС 1 з 2 НзО, дальнейшего увеличения срока службы катодов не наблюдается, а 10 процесс формовки эмиттеров вследствие больших начальных сопротивлений пленок ЬпО, и изменения их структуры затрудняется.Выявленная закономерность была использована для улучшения эксплуатационных ха рактеристик катодов из окиси олова, Дляуменьшения влияния обеднения пленки ЬпОз...