Шалашев — Автор (original) (raw)

Шалашев

Дифракционное устройство для измерения ширины элементов топологического рисунка

Номер патента: 1597543

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Жуковский, Колгин, Котлецов, Смирнов, Шалашев

Метки: дифракционное, рисунка, топологического, ширины, элементов

...уровней напряжения прикладывает ся к входам приводов 27 и,28, Выход " ной сигнал Фотоприемника 7, сост ветствующий установленному режиму приводов 27 и 28, поступает на вход усилителя 16 и через аналоговый ком мутатор 10 на вход аналого цифрово го преобразователя 11 и далее в 97543 , 6цифровой форме записывается в память вычислительного блока 12Сначала производится совмещение плоскости измеряемого элемента с плоскостью предметов приемной телескопической системы, Для этого вычиСлительный блок 12 подает на вход регистра 23 двоичный код аналоговыйэквивалент которого обладает небольшим приращением по сравнению с уровнем напряжения, ранее установленнымна входе привода 28, Соответствующий новому положению привода 28 выходной сигнал...