Топологического — Метка (original) (raw)

Патенты с меткой «топологического»

Способ измерения линейного размера элементов топологического рисунка микросхем

Номер патента: 1146549

Опубликовано: 23.03.1985

Авторы: Егорова, Лонский, Потапов, Раков

Метки: линейного, микросхем, размера, рисунка, топологического, элементов

...тестовой ячейкитак, что плоскость падения светапараллельна штрихам решетки, уголпадения света выбирают в диапазонео60-0, определяют для каждогоучастка эллипсометрические параметры отраженного света, по которым вычисляют контролируемый параметр,На фиг. 1 представлена тестоваяячейка, вид сверху; на фиг. 2 - тоже, разрез,Первый участок тестовой ячейки Дпредставляет дифракционную решетку,состоящую из полосок 1 непрозрачного материала, например. металла, наоднородной подложке, например стекле. Расстояние 1 между полосками равно измеряемому размеру элемента схемы. Размеручастка должен бытьбольше диаметра пучка света, которымосвещается решетка. Ширина 4 поло -сок должна удовлетворять условиюО. Размах Х участка определяется неравенством ХЭ соя...

Дифракционное устройство для измерения ширины элементов топологического рисунка

Номер патента: 1597543

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Жуковский, Колгин, Котлецов, Смирнов, Шалашев

МПК: G01B 21/02

Метки: дифракционное, рисунка, топологического, ширины, элементов

...уровней напряжения прикладывает ся к входам приводов 27 и,28, Выход " ной сигнал Фотоприемника 7, сост ветствующий установленному режиму приводов 27 и 28, поступает на вход усилителя 16 и через аналоговый ком мутатор 10 на вход аналого цифрово го преобразователя 11 и далее в 97543 , 6цифровой форме записывается в память вычислительного блока 12Сначала производится совмещение плоскости измеряемого элемента с плоскостью предметов приемной телескопической системы, Для этого вычиСлительный блок 12 подает на вход регистра 23 двоичный код аналоговыйэквивалент которого обладает небольшим приращением по сравнению с уровнем напряжения, ранее установленнымна входе привода 28, Соответствующий новому положению привода 28 выходной сигнал...

Способ изготовления оригинала топологического рисунка большой интегральной схемы

Номер патента: 1075867

Опубликовано: 27.11.1996

Авторы: Погоцкий, Полякова, Точицкий

МПК: H01L 21/312

Метки: большой, интегральной, оригинала, рисунка, схемы, топологического

Способ изготовления оригинала топологического рисунка большой интегральной схемы, включающий нанесение на прозрачную подложку маскирующей пленки и получение рельефа в маскирующей пленке, содержащего элементы топологического рисунка и реперные знаки, методом фотолитографии с использованием генератора изображения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности взаимного расположения элементов топологического рисунка, при получении рельефа в маскирующей пленке формируют часть топологического рисунка и реперные знаки, после чего на подложку наносят дополнительную маскирующую пленку, прозрачную для видимого света, а затем методом контактной или проекционной фотолитографии в дополнительной маскирующей пленке формируют оставшуюся часть...