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Ein Mikroscanner (englisch micro-scanner bzw. micro-scanning mirror) ist ein mikro-opto-elektro-mechanisches System (MOEMS) aus der Klasse der Mikrospiegelaktoren zur dynamischen Modulation von Licht. Je nach Bauart kann die modulierend wirkende Bewegung eines Einzelspiegels translatorisch oder um eine bzw. zwei Achsen rotatorisch erfolgen. Im ersten Fall wird eine phasenschiebende Wirkung, im zweiten Fall, die Ablenkung der einfallenden Lichtwelle erzielt. Bei Mikroscannern wird die Modulation über einen einzelnen Spiegel erzeugt. Sie sind daher von anderen Mikrospiegelaktoren, die in ihrer Wirkungsweise eine Matrix von einzeln adressierbaren Spiegeln benötigen, den zu unterscheiden. Um ein handelt es sich hingegen, wenn die Wirkung eines einzelnen Array-Spiegels die Funktion bereits erfüllt aber beispielsweise zur Erhöhung der Lichtausbeute mehrere Spiegel in einem Array parallel geschaltet werden. (de) A microscanner, or micro scanning mirror, is a microoptoelectromechanical system (MOEMS) in the category of micromirror actuators for dynamic light modulation. Depending upon the type of microscanner, the modulatory movement of a single mirror can be either translatory or rotational, on one or two axes. In the first case, a phase shifting effect takes place. In the second case, the incident light wave is deflected. Microscanners are different from spatial light modulators and other micromirror actuators which need a matrix of individually addressable mirrors in order to accomplish the desired modulation at any yield. If a single array mirror accomplishes the desired modulation but is operated in parallel with other array mirrors to increase light yield, then the term microscanner array is used. (en) |
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Ein Mikroscanner (englisch micro-scanner bzw. micro-scanning mirror) ist ein mikro-opto-elektro-mechanisches System (MOEMS) aus der Klasse der Mikrospiegelaktoren zur dynamischen Modulation von Licht. Je nach Bauart kann die modulierend wirkende Bewegung eines Einzelspiegels translatorisch oder um eine bzw. zwei Achsen rotatorisch erfolgen. Im ersten Fall wird eine phasenschiebende Wirkung, im zweiten Fall, die Ablenkung der einfallenden Lichtwelle erzielt. (de) A microscanner, or micro scanning mirror, is a microoptoelectromechanical system (MOEMS) in the category of micromirror actuators for dynamic light modulation. Depending upon the type of microscanner, the modulatory movement of a single mirror can be either translatory or rotational, on one or two axes. In the first case, a phase shifting effect takes place. In the second case, the incident light wave is deflected. (en) |
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