スピンドライ - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
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スピンドライの英語
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スピンドライ
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「スピンドライ」を含む例文一覧
該当件数 : 13件
例文
**スピンドライヤー例文帳に追加
SPIN DRYER - 特許庁
真空**スピンドライヤー方法及び装置例文帳に追加
VACUUM SPIN DRYER METHOD AND VACUUM SPIN DRYER DEVICE - 特許庁
リンス処理後は、ウエハＷを高速回転させて乾燥させる**スピンドライ処理が行われる。例文帳に追加
After the rinse processing, spin drying processing for drying the wafer W while rotating it at a high speed is executed. - 特許庁
ＳＣ１処理時および**スピンドライ時には、基板上保持部３にウエハＷが保持される。例文帳に追加
In SC1 processing or spin-dry processing, the wafer W is held in a substrate upper portion holding section 3. - 特許庁
ボックス型のウエーハキャリアを高効率に乾燥できる**スピンドライヤを提供する。例文帳に追加
To provide a spin dryer capable of drying a box type wafer carrier with high efficiency. - 特許庁
本発明に係るスピンドライヤ１０１は、**スピンドライ**ヤ内に配置された縦向きの基板２０１から移動した流体を受けるように配置されたシールドシステムを有する。例文帳に追加
This spin dryer has a shielding system, positioned to receive fluid displaced from a substrate vertically positioned within the spin dryer. - 特許庁
例文
その後、**スピンドライ処理を実施することにより、ウォーターマークの発生を抑制しつつウエハＷを乾燥させることができる。例文帳に追加
After that, spinning dry processing is executed, thereby drying the wafer W while suppressing a water mark from occurring. - 特許庁
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「スピンドライ」を含む例文一覧
該当件数 : 13件
例文
従来の**スピンドライヤーを改良し、ワークの汚染や欠損などの発生を抑制することができる新規の乾燥装置を提供する。例文帳に追加
To provide a dryer in which occurrence of contamination or chipping of a work can be suppressed. - 特許庁
ウェーハ等の基板を乾燥させる**スピンドライヤー方法および装置において、短時間で効率良く基板を乾燥させること。例文帳に追加
To efficiently dry a substrate, such as a wafer, in a short time by a vacuum spin dryer method for drying the substrate and a vacuum spin dryer device. - 特許庁
ＳＣ１処理および**スピンドライは、ＳＰＭ処理時よりも低温な環境下で実行されるので、基板上保持部３によってウエハＷを強固に保持しても、基板上保持部３の変形を生じない。例文帳に追加
Since the SC1 processing and spin-dry processing are executed in an environment with a temperature lower than that in the SPM processing, the deformation of the substrate upper part holding section 3 can be prevented even if the wafer W is firmly held by the substrate upper part holding section 3. - 特許庁
**スピンドライヤの内部にわたって圧力勾配を加えることにより、流体をシールドシステムに沿って所望の方向に移動させる空気流を形成することができる。例文帳に追加
By adding a pressure gradient across the interior of the spin dryer to create an air flow which encourages the fluid to travel along the shielding system in the desired direction. - 特許庁
**スピンドライヤの内部にわたって圧力勾配を加えることにより、流体をシールドシステムに沿って所望の方向に移動させる空気流を形成することができる。例文帳に追加
A pressure gradient is applied across the interior of the spin-dryer to create an air flow which encourages fluid to travel along the shield system in a desired direction. - 特許庁
例文
半導体ウエハー表面にパーティクルの付着無く、半導体ウエハー及び収納カセットにウォーターマークが発生せず、**スピンドライヤーを使用せず乾燥装置内で静止状態で迅速に半導体ウエハーを乾燥する方法及びその乾燥装置を提供する。例文帳に追加
To provide a method and apparatus for drying rapidly a semiconductor wafer in a resting state in a drying apparatus without using a spin dryer and without particles adhesion on the surface of the semiconductor wafer and a water mark generation on the semiconductor wafer and a holding cassette. - 特許庁
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「スピンドライ」の英訳に関連した単語・英語表現 |
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