Roughing pump - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
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roughing pump
名詞
roughing pump (複数形 roughing pumps)
- A type of vacuum pump that is used to achieve rough vacuum from initial atmospheric pressure.
Synonym: rough pump
「Roughing pump」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 19件
例文
A booster pump A is constituted of a dry pump, a roughing pump B is constituted of a scroll pump and designed exhaust speed of the roughing pump B is made in size enough to function as the roughing pump although it is lower than designed exhaust speed of the booster pump A on the evacuator 100 furnished with the roughing pump B and the booster pump A.例文帳に追加
粗引ポンプＢとブースタポンプＡとを備えた真空排気装置１００において、ブースタポンプＡをドライポンプとし粗引ポンプＢをスクロールポンプで構成し、粗引ポンプＢの設計排気速度を、ブースタポンプＡの設計排気速度より小さいが粗引ポンプとして機能する大きさとした。 - 特許庁
A first vacuum chamber 6 is evacuated by two pumps which are a first roughing vacuum pump 5b and a second roughing vacuum pump 14c for the rough evacuation of high vacuum pumps 10, 11.例文帳に追加
第一真空室６の排気を、第一粗引きポンプ５ｂと高真空ポンプ１０，１１の粗排気用の第二粗引きポンプ１４ｃの２台で行う。 - 特許庁
Then, the turbomolecular pump compresses the fluid to a pressure for evacuating the chamber by a roughing pump.例文帳に追加
続いて軸流分子ポンプが、荒引きポンプにより排気するための圧力に流体を圧縮する。 - 特許庁
The multistage type evacuator 100 furnished with a roughing pump B and a booster pump A is constituted to be high in energy efficiency by installing a ceiling pump C on the atmospheric air side of the final stage roughing pump B and making designed exhaust speed of the ceiling pump C in size enough to function as the ceiling pump even though it is lower than designed exhaust speed of the roughing pump B.例文帳に追加
粗引ポンプＢとブースタポンプＡとを備えた多段式真空排気装置１００において、シーリングポンプＣを最終段粗引ポンプＢの大気側に取り付け構成し、シーリングポンプＣの設計排気速度を、粗引ポンプＢの設計排気速度より小さいがシーリングポンプとして機能する大きさとし、エネルギー効率の高い真空排気装置とすることができた。 - 特許庁
To suppress increase in the back pressure of a high vacuum pump and to suppress halting in the high vacuum pump in a containment state of the high vacuum pump upon evacuating by a roughing pump and a high vacuum pump.例文帳に追加
粗引きポンプと高真空ポンプとによる排気において、高真空ポンプの封じ込め状態において、高真空ポンプの背圧の上昇を抑制し、高真空ポンプの停止を抑制する。 - 特許庁
The evacuation device has a high vacuum pump 2 to exhaust gas in a vacuum chamber 1 and a low vacuum pump 3 for roughing.例文帳に追加
真空装置は、真空室１内のガスを排気する高真空ポンプ２とあら引き用の低真空ポンプ３とを備えている。 - 特許庁
例文
The vacuum evacuating unit 10 has a roughing pump 4 and a high vacuum pump 3 to evacuate inside the vacuum chamber, wherein one end of a rough evacuation valve 13 the other end of which is connected to the vacuum chamber 2 and a gas discharge valve 12 of the high vacuum pump 3 are connected to the suction side of the roughing pump 4.例文帳に追加
真空排気部１０は、真空チャンバ内を排気する粗引きポンプ４と高真空ポンプ３を有し、粗引きポンプ４の吸気側には、他端が真空チャンバ２に接続される粗引きバルブ１３と、高真空ポンプ３の排気側バルブ１２とが接続される。 - 特許庁
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Roughing pump
出典:『Wikipedia』 (2011/06/06 17:31 UTC 版)
英語による解説
ウィキペディア英語版からの引用
引用
A roughing pump is any vacuum pump (typically mechanical) used to initially evacuate a vacuum system, as a first stage towards achieving high vacuum or ultra high vacuum. The term "roughing pump" derives from the vacuum range it works in, "rough vacuum", above 1x10-3 torr. Pumps that operate in the high vacuum ranges typically don't operate or operate inefficiently at atmospheric pressures, whereas pumps that work efficiently at atmospheric pressure usually can't produce a vacuum lower than approximately 1x10-3 torr.
「Roughing pump」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 19件
例文
By closing these valves, the abnormality of the turbo-molecular pump 3 can be eliminated even if the rotation of a roughing vacuum pump RP stops.例文帳に追加
そしてこれらの弁を閉じることにより、粗引きポンプＲＰの回転が停止してもターボ分子ポンプ３に異常をきたすことはなくなる。 - 特許庁
An evacuation system of the analysis apparatus 10 includes a roughing vacuum pump 50, and a turbo molecular pump 30 including a low vacuum side stage 32 and a high vacuum side stage 31.例文帳に追加
分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。 - 特許庁
An exhaust line from the vacuum chamber 1 has at least a first exhaust line (a) to directly exhaust gas from the vacuum chamber 1 via a valve by a roughing pump, and a second exhaust line (b) connected to the high vacuum pump 2 from the vacuum chamber 1 via a valve and connected from the high vacuum pump 2 to the roughing pump 3 via a valve.例文帳に追加
真空室１からの排気ラインは、少なくとも真空室１からバルブを介してあら引きポンプで直接排気する第１の排気ラインａと、真空室１からバルブを介して高真空ポンプ２につながり、高真空ポンプ２からバルブを介してあら引きポンプ３に至る第２の排気ラインｂとを備えている。 - 特許庁
A cold trap 36 is connected to the evacuation pipe 32, and a roughing vacuum pump is connected to the cold trap 36.例文帳に追加
排気配管３２にはコールドトラップ３６が接続され、コールドトラップ３６には粗引用真空ポンプが接続されている。 - 特許庁
To prevent the response of a measurement value from being extended by restraining a change in the exhausting velocity, when switched from a roughing pump mode to a test mode.例文帳に追加
粗引きモードからテストモードに切り替わった際の排気速度の変化を抑え、測定値の応答時間の延びを防止する。 - 特許庁
A rotary control unit 12 increases the number of revolutions of a roughing vacuum pump 11 at a timing when a reactive gas is introduced to a vacuum chamber 1 and decreases the number of revolutions of the roughing vacuum pump 11 at a timing when the introduction of the reactive gas into the vacuum chamber 1 is shut off.例文帳に追加
回転制御装置１２は、反応ガスが真空チャンバ１に導入されるタイミングで、粗引きポンプ１１の回転数を上昇させ、反応ガスの真空チャンバ１への導入が遮断されるタイミングで、粗引きポンプ１１の回転数を下降させる。 - 特許庁
A main body 20 connected to the roughing vacuum pump 50 includes a first chamber 24 substantially decompressed by the roughing vacuum pump 50, a second chamber 25 which is subsequently combined with the low vacuum side stage 32 of the turbo molecular pump 30 and into which the hydrogen gas is introduced, and a third chamber 26 which is subsequently combined with the high vacuum side stage 31.例文帳に追加
粗引ポンプ５０に結合された本体２０は、実質的に粗引ポンプ５０によって減圧される第１チャンバ２４と、その直後でターボ分子ポンプ３０の低真空側段３２に結合され、水素ガスが導入される第２チャンバ２５と、さらに後段でその高真空側段３１に結合される第３チャンバ２６とを含む。 - 特許庁
例文
A mechanical roughing pump connected to the magnetron chamber pumps the main chamber through the bypass conduit to less than 1 Torr before the bypass valve is closed and the cryo pump is opened and thereafter continues to pump the magnetron chamber to reduce the pressure differential across the target.例文帳に追加
マグネトロンチャンバに連結された機械式粗引ポンプは、バイパスバルブを閉鎖し、クライオポンプを開口するに前に、バイパス導管を介して主チャンバを１Ｔｏｒｒより低く減圧し、続いてマグネトロンチャンバを継続して減圧することでターゲットを介した圧力差を低減する。 - 特許庁
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