Межслойного — Метка (original) (raw)

Патенты с меткой «межслойного»

Способ измерения межслойного давления в изделии, выполненном из слоистых композиционных материалов при их намотке на оправку

Номер патента: 1075097

Опубликовано: 23.02.1984

Авторы: Барынин, Бокин, Гусарь, Егоров, Иванов, Протасов, Смыслов, Соколова

Метки: выполненном, давления, изделии, композиционных, межслойного, намотке, оправку, слоистых

...оправки и зоны измерения давления; на фиг. 2 - опорное перекрытие, изолирующее соответствующие зоны измерения давления; на фиг. 3 - график зависимости давления слоев от числа слоев и времени. Данный способ реализуется следующим образом.В оправку 1 в зонах измерения давления устанавливают датчики 2 давления.Датчики 2 размещены в оправке 1 радиусом К равномерно по ее периметру в каждой зоне измерения давления, число которых соответствует количеству наматывае 30 35 40 45 50 55 мых слоев. В качестве датчиков контактного давления используют индуктивные датчики с мембранами. На оправку 1 наматывают с определенным натяжением первый слой композиционного материала 3. С датчиков 2 с помощью регистрирующей аппаратуры (не показана) снимают...

Способ создания микрорисунка в слое алюминия или его сплавов на микрорельефе из межслойного диэлектрика

Номер патента: 1753893

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Баянов, Буляк, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/312

Метки: алюминия, диэлектрика, межслойного, микрорельефе, микрорисунка, слое, создания, сплавов

Способ создания микрорисунка в слое алюминия или его сплавов на микрорельефе из межслойного диэлектрика, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности слоя и его селективное реактивно-ионное травление в хлорсодержащей плазмообразующей смеси при давлении 15-20 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,4-0,5 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет улучшения воспроизводимости микрорисунка и предотвращения коротких замыканий на микрорельефе, травление проводят до вскрытия планарных поверхностей микрорельефа, после чего осуществляют дотравливание слоя при давлении 6-12 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,6-0,8...