Буляк — Автор (original) (raw)
Буляк
Способ создания тонких слоев оксида кремния
Номер патента: 1371456
Опубликовано: 20.06.2012
Авторы: Буляк, Плотников, Румак, Хатько, Шевчук, Ясников
МПК: H01L 21/316
Метки: кремния, оксида, слоев, создания, тонких
Способ создания тонких слоев оксида кремния для подзатворного диэлектрика МДП-структур, включающий нагрев монокристаллических кремниевых пластин от комнатной температуры до температуры окисления (700-950°С), формирование подслоя двуокиси кремния термическим окислением пластин кремния и доокисление его до толщины 10-50 нм в газовой смеси, содержащей кислород, водород и хлористый водород при расходе кислорода и водорода, равном соответственно 30-75 и 15-68 об.%, последующий отжиг в инертном газе, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных структур путем уменьшения дефектности подзатворного диэлектрика, подслой окисла формируют последовательной выдержкой сначала в...
Способ изготовления межуровневой изоляции на структурах мдп-интегральных схем
Номер патента: 1151153
Опубликовано: 27.05.2012
Авторы: Буляк, Пухов, Румак, Хатько
МПК: H01L 21/316
Метки: изоляции, мдп-интегральных, межуровневой, структурах, схем
Способ изготовления межуровневой изоляции на структурах МДП-интегральных схем, включающий последовательное формирование на поверхности структуры подслоя и слоя двуокиси кремния, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических параметров структур за счет повышения стабильности величины порогового напряжения, подслой межуровневой изоляции формируют анодированием структур в кислородной плазме ВЧ-разряда при давлении кислорода 1,33-2,66 Па и температуре не более 150°С.
Способ создания микрорисунка в слое алюминия или его сплавов на микрорельефе из межслойного диэлектрика
Номер патента: 1753893
Опубликовано: 20.01.2008
Авторы: Базыленко, Баянов, Буляк, Родин, Турцевич
МПК: H01L 21/312
Метки: алюминия, диэлектрика, межслойного, микрорельефе, микрорисунка, слое, создания, сплавов
Способ создания микрорисунка в слое алюминия или его сплавов на микрорельефе из межслойного диэлектрика, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности слоя и его селективное реактивно-ионное травление в хлорсодержащей плазмообразующей смеси при давлении 15-20 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,4-0,5 Вт/см 2, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных за счет улучшения воспроизводимости микрорисунка и предотвращения коротких замыканий на микрорельефе, травление проводят до вскрытия планарных поверхностей микрорельефа, после чего осуществляют дотравливание слоя при давлении 6-12 Па и плотности мощности на поверхности слоя 0,6-0,8...
Способ изготовления межэлементных соединений интегральных схем
Номер патента: 1799203
Опубликовано: 10.10.1996
Авторы: Буляк, Довнар, Кастрицкий, Красницкий, Турцевич, Химко
МПК: H01L 23/48
Метки: интегральных, межэлементных, соединений, схем
...перекрыло покрытие из ФСС на 0,1-6,0 мкм.Приборы собирали в пластмассовые корпуса и проводили ускоренные испытания попарно 8 групп по 15 приборов на безотказность (при температуре 120 С, влажности 950 ). На специальных тестовых структурах методом поляризационного сопротивления системы электрод - раствор определялась скорость коррозии межэлементных соединений,Испытательной средой служил раствор ортофосфорной кислоты. Дополнительно провели сравнительные испытания пластин со сформированным защитным покрытием (16 групп пластин по 5 шт.) путем обработки в автоклаве под давлением 1,2 атм при повышенной температуре и влажности, Контроль на наличие следов коррозии проводили при помощи микроскопа 1 епа(ееЬ.Рассчитывалось отношение скорости...
Устройство для подачи текучей смеси
Номер патента: 1153030
Опубликовано: 30.04.1985
Авторы: Буляк, Крылов, Мастяев, Щавлеев
МПК: E04F 21/00, E04G 21/04
...фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 -то же, в рабочем положении.Устройство для подачи текучей смеси содержит двухколесную тележку 1 с рамой,состоящей из стоек 2 и ручек 3, разъемныеподшипниковые опоры 4, расположенные настойках, опору 5, закрепленную на ручках 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 рамы, и насосный агрегат, включающий привод, состоящий из соединенных между собой корпусами двигателя 6 и редуктора 7, бункер 8, внутри которого у днища расположен карданный вал 9, винтовой насос 10, винт 11 которого расположен в обойме 12 эксцентрично ее оси и имеет расположенную эксцентрично этой оси удлиненную шейку 13, на входном конце которой соединен с валом редуктора привода посредством карданного вала,...
Устройство для формования изделий из теста с начинкой
Номер патента: 1018611
Опубликовано: 23.05.1983
Авторы: Ашитков, Буляк, Новожилова
МПК: A21C 9/06
Метки: начинкой, теста, формования
...1 съ 1 мк В 1 п 9 хм 9 Гцэм порядкец тэ,;1 ттв гелями2 ДОдц а ко для ВЪГт ал 1 О 1 В 9 1 ия ко с 1) ) 0МовдПЦ 1 лХ ЦЗДЕЛЦй Г-ЛК ТЕгПт. ДЭЛКЦЫ ИМЕТЬ и ртслэ л,Гэ услэжт 1 л ет кдцст 0 .кцц 0устрэйттва 11 создаст це дэбсхва, сВязанные с егэ эксплуатацией. 1 рц саццтвр 110 й Обработке устрэцсттва Вэзцт 1 к 910 Т Определе"1 цыс трудности,11 е.1 ью и эбретецт.л лвияэтсл -.:911 ыше 1 П 1 Е УДЭ( ТВ 9 П ЭЛЬЗЭБанця,Указанная 1,:ель д;стцгастсл тем, чтоустрэбствс для фэрмэващтл изделий изТЕ.- Тд С Ц 9 ЧИЦКЭй СЭДЕ 1 тжаШЕЕ Т 1 т 19 СТЦЦУс ОтВерстиямц, распэложеццъмц В шахматцэм порядке, и тотткателл;,1 и, с:19 бжсцэдопэлгцтельцой пластццэй, Въптэ 11 1 сцнэйанвтпотЦ 1 ЦЭ ЭСЦЭВЦЭЦ и ЩВОЦЦОЦЭ С ЦСй сэединенцэй, 9 тэлкатели укреплены...
Способ многооблолтной инжекции заряженных частиц
Номер патента: 701493
Опубликовано: 07.09.1982
Авторы: Буляк, Мочешников
МПК: H05H 7/08
Метки: заряженных, инжекции, многооблолтной, частиц
...за счет уменьшения амплитуды вертикальных колебаний.На чертеже представлены формы биений амплитуд колебаний в плоскости отвода для трех спосооов многооборотной инжекции; кривая 1 - для т= твыражает связь колебаний квадрупольным полем; кривая 2 - для= связь соленоидальным полем; кривая 3 - для предлагаемого способа 2 т, - ,.1, связь секступольпым полем. По оси абсцисс отложен 5 10 15 20 25 30 азнмутальный угол, выраженный в числе обходов, по оси ординат - амплитуда колебаний, штриховой линией обозначен край вводного устройства, расчеты выполнены для Хо/го = 10.Из сравнения кривых видно, что число обходов по предлагаемому способу пр;- мерно равно числу обходов, получаемых по способу 1, и значительно превосходит число обходов по...
Способ измерения частоты продольных некогерентных колебаний сгустка заряженных частиц
Номер патента: 890958
Опубликовано: 15.07.1982
МПК: H05H 13/00
Метки: заряженных, колебаний, некогерентных, продольных, сгустка, частиц, частоты
...цель достигается тем, что в способе измерения частоты продольныхпскогсрсптпых колебаний сгустка заряженных частиц, циркулирующих в циклическом ускорителе или накопителе в виде пучка, включающем возбуждение когерентных колебаний частиц пучка, в пучке возбуждают поперечные дипольные колебания, определяют зависимость амплитуды поперечных дипольных колебаний от частоты возбуждающего поля, а частоту продольных некогерентных колебаний находят по формуле.гк - 6 сК - С где 1 з - частота продольных некогерентныхколебаний;1 к, 1, - частоты, соответствующие максимальным значениям амплитуд; , К с. - порядковые номера этих частот,На чертеже приведена экспериментально снятая зависимость частоты продольных некогерентных колебаний з от тока...
Способ измерения хроматичности циклических ускорителей и накопителей
Номер патента: 837304
Опубликовано: 30.03.1982
Авторы: Буляк, Марков
МПК: H05H 7/00
Метки: накопителей, ускорителей, хроматичности, циклических
...т. е. повышение точ,ности изме.рений,Цель достигается тем, что в,предлагаемом способе поперечные колебания части 1 ц, пучка возбуждают на частоте, отличающейся от частоты бетатронных колебалий на целое число частот синхротронных колебаний, затемвоздейспвуя,на лучок секстулольным электрическим,или иагнитным полем, уменьшают возбужденные колебания до их исчезновеиия, а хроматичность определяют по величиное требуемой для исчезновения колебаиий напряженности оехступольного электрического или магнитного поля.На чертеже изображена схема, поясняющая предлагаемый,опособ.Поперечные колебания пучка 1 возбуждаются ферритовым магнитом 2, установленным на стеклянной вставке вакуумной камеры. Магнит питают от генератора 3, сигнал,которого...