Ярыкин — Автор (original) (raw)
Ярыкин
Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния
Номер патента: 1387798
Опубликовано: 20.08.1999
Авторы: Ковешников, Редькин, Старков, Юнкин, Якимов, Ярыкин
МПК: H01L 21/322
Метки: геттерирования, кремния, металлических, пластине, примесей
Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния, включающий обработку нагретой пластины в электрическом разряде в газовой атмосфере, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса геттерирования путем снижения температуры геттерирования, обработку пластины проводят в разряде высокой частоты, в атмосфере смеси кислорода с фторсодержащим соединением при их объемном отношении (0,1-1) : 1 соответственно величине удельной мощности на единицу поверхности 0,4-1,3 Вт/см2 и рабочем давлении 6 10-3 - 6
Способ получения изделий из счверхтвердого композиционного материала
Номер патента: 1630238
Опубликовано: 15.06.1994
Авторы: Громов, Дульнев, Капустин, Коняев, Нуждина, Овчинников, Погонялин, Салтыков, Ягудин, Ярыкин
МПК: C04B 35/38
Метки: композиционного, счверхтвердого
...5 кбар по форме и размерам квадратного отверстия вкладыша и помещают на сверхтвердый порошок. Стружколомный слой изготавливают из смеси порошка алмаза с размером зерна 60 мкм и с размером зерна 20 мкм и интерметаллида СцТ 1 з, при содержании в смеси 5 мас.интерметаллида СцТ 1 з, прессуют по Форме квадрата с размерами, меньшими размеров отверстия формообразующего вкладыша, и помещают на металлическое связующее.Затем свободный объем между спрессованным стружколомом и формообразующим вкладышем заполняют инертным порошком карбида бора и заполненный формо браэующий вкладыш сверху закрывают нагревателем в форме таблетки с диаметром, равным внешнему диаметру Формообразующего вкладыша, Заполненную чечевицу помещают в аппарат высокого...