Метилсилан | это... Что такое Метилсилан? (original) (raw)

Метилсилан
Общие
Систематическое наименование	Метилсилан
Химическая формула	CH3-SiH3
Эмпирическая формула	СH6Si
Физические свойства
Молярная масса	46,14 г/моль
Плотность	газ 1,93 г/л0,6277-57 г/см³
Термические свойства
Температура плавления	-156,8;-157 °C
Температура кипения	-57,5;-56,9 °C
Классификация
Рег. номер CAS	992-94-9
Рег. номер EINECS	213-598-5

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное силана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение

Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

$~\mathsf{2SiH_3Cl + Zn(CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ 2CH_3\text{-}SiH_3 + ZnCl_2 }$

Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

$~\mathsf{4CH_3\text{-}SiCl_3 + 3Li[AlH_4] \ \xrightarrow{}\ 4CH_3\text{-}SiH_3 + 3LiCl + 3AlCl_3 }$

Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

$~\mathsf{3CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_3 + 2CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_3 }$

Физические свойства

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства

Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

$~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 \ \xrightarrow{T}\ CSi + 3H_2 }$

Реагирует с галогенами:

$~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 + Cl_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_2Cl + HCl }$

Применение

Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
Поставляется в баллонах под давлением 13 атм.
Цена на метилсилан ≈4 000$/кг.

Литература

Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5

Соединения кремния
Гексафторосиликат натрия (Na2[SiF6]) • Гексафторосиликат(IV) калия (K2[SiF6]) • Карбид кремния (SiC) • Кремнефтористоводородная кислота (H2[SiF6]) • Кремниевые кислоты (SiO2•n H2О) • Метасиликат калия (K2SiO3) • Метасиликат натрия (Na2SiO3) • Метилсилан (CH3-SiH3) • Муассанит • Нитрид кремния (Si3N4) • Оксид кремния(II) (SiO) • Оксид кремния(IV) (SiO2) • Ортосиликат натрия (Na4SiO4) • Полевые шпаты • Силаны (SinH2n+2) • Силикагель (n SiO2•m H2O) • Силицид сурьмы (Si3Sb4) • Силиконовое масло • Силиконы ([R2SiO]n) • Силицид ванадия (V3Si) • Силицид висмута (Si3Bi4) • Силицид кальция (CaSi2) • Силицид лития (Li6Si2) • Силицид магния (Mg2Si) • Силицид молибдена (MoSi2) • Силицид полония (SiPo2) • Силицид рения (ReSi) • Сульфид кремния (SiS2) • Тетрабромид кремния (SiBr4) • Тетраиодид кремния (SiI4) • Тетрасиликат калия (K2Si4O9•H2O) • Тетрафторид кремния (SiF4) • Трихлорсилан (SiHCl3) • Хлорид кремния(IV) (SiCl4) • Хлориды кремния

Соединения кремния