真空ポンプ系 - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)
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真空ポンプ系の英語
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真空ポンプ系
英語正式名: Vacuum Pumping System
略語: VPS
「真空ポンプ系」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 69件
例文
真空 ポンプは半導体製造のラインで配備されている真空引き系を共有してもよい。例文帳に追加
The vacuum pump can use an evacuating system installed to a semiconductor manufacturing line in a shared state. - 特許庁
単結晶引上げ機の不活性ガス排気系の水封式真空 ポンプ例文帳に追加
WATER-SEALED TYPE VACUUM PUMP OF INERT GAS EXHAUST SYSTEM FOR MONOCRYSTAL PULLING MACHINE - 特許庁
脱離したＣＦｘ系の脱離ガスは真空 ポンプにより排気される。例文帳に追加
The desorbed CFx-based desorption gas is exhausted by a vacuum pump. - 特許庁
排気系１８は、図示しないポンプにより、高真空排気を制御する。例文帳に追加
An exhaust system 18 controls an exhausting operation of a high-degree vacuum by a pump (not shown). - 特許庁
ケーブルおよびダクトの通過のために真空ポンプ系の下の空間の一部を自由にし、かつ、疑似床に関して**真空ポンプ系を機械的に隔離する****真空ポンプ系用中間支持プラットフォームを提供すること。例文帳に追加
To make a part of a space underneath a vacuum pumping system free for the free passage of cables and ducts, and to provide an intermediate supporting platform for the vacuum pumping system which mechanically isolates the vacuum pumping system with respect to the false floor. - 特許庁
本発明は２系統ガス摩擦ポンプ（６）および（７）と、その下流側の１台のポンプ（８）とからなる真空 ポンプを記載する。例文帳に追加
This vacuum pump is formed of two system gas friction pumps 6 and 7 and a pump 8 in its downstream side thereof. - 特許庁
例文
そして、水素ガスの導入の直前には、高真空下にメカニカルブースタポンプ７５を含む真空排気系の真空洩れの有無を確認し、続いて、真空 ポンプを停止して水素処理室１の圧力上昇試験を行い真空洩れのチェックを行う。例文帳に追加
Right before the hydrogen gas is introduced, the presence or not of vacuum leak from an evacuation system containing a mechanical booster pump 75 under a high vacuum is identified, followed by stopping the vacuum pump for performing pressure rise test in the hydrogen treatment chamber 1 and vacuum leak check. - 特許庁
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「真空ポンプ系」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 69件
例文
分析装置１０の真空排気系は、粗引ポンプ５０、及び低真空側段３２と高真空側段３１とを含むターボ分子ポンプ３０を有する。例文帳に追加
An evacuation system of the analysis apparatus 10 includes a roughing vacuum pump 50, and a turbo molecular pump 30 including a low vacuum side stage 32 and a high vacuum side stage 31. - 特許庁
補助ポンプの設置スペースを小さくしながらも複数台のドライ真空 ポンプに配置でき、メンテナンスコストの低減を図って真空排気系の省エネ効果を実効あらしめる真空排気装置を提供する。例文帳に追加
To provide an evacuation device capable of mounting a plurality of dry vacuum pumps while reducing an installation space of an auxiliary pump, reducing the maintenance cost, and improving the energy saving effect of an evacuation system. - 特許庁
半導体構成部品製造工場のクリーンルーム疑似床に**真空ポンプ系を組み込むための装置例文帳に追加
DEVICE FOR INTEGRATING VACUUM PUMPING SYSTEM IN CLEAN ROOM FALSE FLOOR IN SEMICONDUCTOR COMPONENT MANUFACTURING PLANT - 特許庁
ターボ分子ポンプ２１１を含む真空 系をプロセスチャンバー２１０に接続する。例文帳に追加
A vacuum system including a turbo-molecular pump 211 is connected with the process chamber 201. - 特許庁
この例では排気系３１は少なくとも１台の真空 ポンプ３１ｂを備えている。例文帳に追加
In this embodiment, the exhausting system 31 is provided with at least one set of vacuum pump 31b. - 特許庁
洗浄液の泡が真空排気系に到達することを防止し、真空 ポンプの性能低下や故障を回避する。例文帳に追加
To evade the performance deterioration or failure of a vacuum pump by preventing air bubbles of a washing liquid from reaching an evacuation line. - 特許庁
洗浄液の気泡が真空排気系に到達することを防止し、真空 ポンプの性能低下や故障を回避する。例文帳に追加
To evade the performance deterioration or failure of a vacuum pump by preventing air bubbles of a washing liquid from reaching an evacuation line. - 特許庁
例文
圧力を調整する手段としては例えば窒素などの非酸化性ガスや真空 ポンプなどの真空排気系を採用することができる。例文帳に追加
As the means for regulating the pressure, e.g. non-oxidizing gas, such as nitrogen gas, or a vacuum evacuating system, such as a vacuum pump, can be adopted. - 特許庁
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