sacrificial oxidation - Weblio 英和・和英辞典 (original) (raw)

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sacrificial oxidation

犠牲酸化

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「sacrificial oxidation」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 22件

例文

To suppress strength degradation or the like due to sacrificial oxidation while suppressing oxidation of carbon in a catalyst layer.例文帳に追加

触媒層カーボンの酸化を抑制しつつ、犠牲酸化による強度低下等を抑制する。 - 特許庁

Thereafter the epitaxial layer 2 is subjected to sacrificial oxidation and an oxide film formed by the sacrificial oxidization is removed to eliminate the damages by the RIE.例文帳に追加

その後、ｎ^- 型エピ層２を犠牲酸化したのち、この犠牲酸化によってできた酸化膜を除去し、ＲＩＥによるダメージを除去する。 - 特許庁

In this method, CMOS structures are provided by performing sacrificial oxidation so that oxidation occurs on the surface of both the SOI and BOX interfaces.例文帳に追加

この方法では、ＳＯＩとＢＯＸ界面の両方の表面上で酸化が生じるように犠牲酸化を行うことによって、ＣＭＯＳ構造が設けられる。 - 特許庁

Then, when the MOS transistor formation region is subjected to sacrifice oxidation and a sacrificial oxide film 5 is formed (process (c)), the factor 3 for preventing oxidation is taken into the sacrificial oxide film 5.例文帳に追加

次に、ＭＯＳトランジスタ形成領域を犠牲酸化して犠牲酸化膜５を形成する（（ｃ）工程）と、酸化を阻害する要因３が犠牲酸化膜５中に取り込まれる。 - 特許庁

Subsequently, by performing sacrificial oxidation, the polysilicon layer 11a on the bottom face of the trench 4 becomes a silicon oxide film 11b.例文帳に追加

次に、犠牲酸化を行いトレンチ４の底面のポリシリコン層１１ａをシリコン酸化膜１１ｂにする。 - 特許庁

To provide suitable conditions when a monocrystal semiconductor layer of a composite substrate is reduced in thickness by sacrificial oxidation.例文帳に追加

複合基板の単結晶半導体層を犠牲酸化によって薄膜化する際の好適な条件を提供することを目的とする。 - 特許庁

例文

A projecting part 24 functioning as a coolant passage 24 functions as a rib, so that strength degradation due to sacrificial oxidation is reinforced.例文帳に追加

冷媒流路２４として機能する凸部２４がリブとして機能し、犠牲酸化に伴う強度低下を補強する。 - 特許庁

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「sacrificial oxidation」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 22件

例文

Then, by the RIE, after a trench for a trench gate is formed, sacrificial oxidation and gate one are carried out.例文帳に追加

次に、ＲＩＥにより、トレンチゲートのためのトレンチを形成した後、犠牲酸化及びゲート酸化を行う。 - 特許庁

A sacrificial oxide film 14 is formed on the side face 13a and bottom face 13b of trenches 13 by the dry O_2 method (dry oxidation).例文帳に追加

ドライＯ_２法（ドライ酸化）により、トレンチ１３の側面１３ａおよび底面１３ｂに犠牲酸化膜１４を形成する。 - 特許庁

The sacrificial anode 7 is composed of a substance having an oxidation-reduction potential less noble than that of a metal that forms the seed layer 103.例文帳に追加

犠牲アノード７は、酸化還元電位がシード層１０３を構成している金属の酸化還元電位より卑な物質から構成されている。 - 特許庁

The flatness of the surface of the silicon substrate can be improved by forming the sacrificial oxide film on the surface through isotropic oxidation, and peeling the oxide film formed through the isotropic oxidation from the surface.例文帳に追加

シリコン基板表面を等方性酸化により犠牲酸化膜を形成し、等方性酸化によって形成された酸化膜を剥離することによって、平坦度の高い表面が得られる。 - 特許庁

To reduce the thickness of a silicon thin film to a prescribed value without deteriorating it in quality and avoiding it that the oxidation of crystal defects generated when a usual sacrificial oxidation is carried out is accelerated, the surface is roughened by the influence of a foreign object, and an oxide film is deteriorated in withstand voltage due to the fact that the surface gets rough.例文帳に追加

従来の犠牲酸化を行う際に生じた結晶欠陥部の増速酸化や、異物の影響などによる表面荒れ、表面荒れに伴う酸化膜耐圧の劣化などを回避しつつ、シリコン薄膜の品質を劣化させることなく、その膜厚を所望の値に減少させる。 - 特許庁

This sacrificial oxidation allows oxide spacer formation for gate-to-source/drain isolation, which enables raised source/drain fabrication without increasing contact resistance.例文帳に追加

この犠牲酸化によって、ゲートとソース／ドレインとを分離するための酸化物スペーサが形成され、したがってコンタクト抵抗を増大させずに隆起型ソース／ドレインを製作することが可能になる。 - 特許庁

Therefore, the role of the original thin Si layer is to use the inner oxidation and subsequently to act as a sacrificial defective sink capable of being consumed during an SiGe alloy being relaxed.例文帳に追加

このため、元の薄いＳｉ層の役割は、内部酸化を使用して後で消費することができる犠牲欠陥シンクとしてＳｉＧｅ合金の緩和中に作用することである。 - 特許庁

例文

Hydrogen and oxygen are simultaneously led into a reaction chamber in which the silicon substrate 10 having the STI film 17 formed is mounted, and the sacrificial oxide film 19 is formed in the element forming region 18 surrounded by the STI film 17 by radical oxidation.例文帳に追加

ＳＴＩ膜１７を形成したシリコン基板１０を載置した反応室内に水素と酸素を同時に導入し、ラジカル酸化によってＳＴＩ膜１７で囲まれた素子形成領域１８に犠牲酸化膜１９を形成する。 - 特許庁

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「sacrificial oxidation」の意味に関連した用語

1

犠牲酸化

(専門用語対訳辞書)

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