Зондовых — Метка (original) (raw)
Патенты с меткой «зондовых»
Установка для зондовых измерений
Номер патента: 274232
Опубликовано: 01.01.1970
МПК: H01L 21/66
Метки: зондовых, измерений
...2 к упору 11, после чего проводят замеры пластины.По окончании замеров полукольца разводят н фиксируют пружиной 2, выключают вакуум н снимают пластину с предметного столика. Предмет нза бр етенп я Установка дляпроводниковых п О низма шаговыхОписываемое изобретение относится к технологическому оборудованию электроннойпромышленности, а именно - к оборудованиюдля зондового контроля и измерений интегральных схем, диодов и транзисторов на неразрезанной пластине,Известны установки для зондовых измерений, содержащие механизм шаговых перемещений, манипулятор, предметный столик,кронштейн с головками (зондовьдми и маркировочными) и оптическую систему.К недостаткам установок относятся большой угол отвода кронштейна с головками приустановке и съеме...
Способ изготовления зондовых головок для измерения удельного сопротивления полупроводников
Номер патента: 284960
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Дудко, Фомина, Цопкало
МПК: G01R 27/00
Метки: головок, зондовых, полупроводников, сопротивления, удельного
...сопротивление полупроводников четырехзондовым методом.При изготовлении зондовых головок известным способом в основании проделывают небольшие (10 - 30 лк) отверстия, в которые протягивают зондовые проволоки. Расстояния между отверстиями должны быть достаточно малы (до бО,як) и строго одинаковы. Сущесгвующим способом это трудно обеспечить, что отражается па качестве зондовых головок.Предлагасмьш способ отличается тем, что перед фиксацпей проьолак их располагают веерообразцо, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его вдоль проволок до требуемого расстояния между последними, а фиксацию зондовых,проволок осуществляют путем нанесения клеящего состава на осноние с образованием каналов для размещения в них с возможностью продольного...
Способ исследования зондовых характеристикпьезоэлемента
Номер патента: 425310
Опубликовано: 25.04.1974
Авторы: Банков, Васильков, Поздн, Федотов
Метки: зондовых, исследования, характеристикпьезоэлемента
...необходимой конфигурации и включают пьезоэлемент в схему возбуждения. Исследуемый колеблющийся пьезоэлемент помещают в вакуумную камеру электроннолучевой установки, и после 10 достижения необходимого разрежения в камере устанавливают заданную мощность электронного луча и фокусируют его на пьезоэлементе. Температуру в точке нагрева пьезоэлемента определяют с помощью термопары. Пе ремещая пьезоэлемент вдоль исследуемогонаправления, наблюдают влияние локального нагрева на резонансную частоту пьезоэлемента, например с помощью измерения уходов частоты автогенератора. Таким образом, пере мещая пьезоэлемент в различных направле.ниях, можно определить полную картину влияния температурных градиентов, вызываемых локальным нагревом, на...
Устройство контроля контактирования зондовых установок
Номер патента: 472346
Опубликовано: 30.05.1975
Авторы: Ажоткин, Беленький, Берлинков, Гальперин
МПК: G01R 31/303
Метки: зондовых, контактирования, установок
...схемы 1, а с помощью зон- ЗО дов 3 - б и через нормально замкнуты такты реле 7 - 10 выводы схемы 1 соед ся с измерительной схемой 11.После того как интегральная схема подведена под зонды и координатный стол поднят для обеспечения контактов зондов 2 - 6 с контактнымп площадками схемы 1, реле 7 - 10 срабатывают, отключая зонды 3 - 6 от измерительной схемы 11, подсоединения зонды 3 - 6 через сопротивления 12 - 15 к источнику питания 16, обеспечивающему прямое смешение диодов, связанных с контактными площадками. При этом через каждое пз сопротивлений 12 - 15 течет ток, и на входы логической схемы НЕ - ИЛИ 17 поступают уровни низкого напряжения, а на выходе схемы 1-1 Е - ИЛИ 17 появляется уровень высокого напряжения, который перебрасывает...
Устройство контроля контактирования зондовых установок
Номер патента: 531104
Опубликовано: 05.10.1976
МПК: G01R 31/02, G01R 31/307, H05K 13/08 ...
Метки: зондовых, контактирования, установок
...зонд 30 соединен с землянойшиной контролируемой схемы 1, а управляющая ,обмотка реле 29 связана с выходом блока управнсНИ 51 28.11 рц П 1 эО 3 сркс контКтирог)аИ 53 этгсктроспцгт. нью рейс 8-13 подсоединягот ЗОдь 2 7 через рсзис. торы 1 б, 17, 18, 21 - 23 к источнику царяжсия 19. Ключ 24, предсгавляющий собой рснс лоо полуроводциковый ключ, оекрыт. Ири отсутствии контакта между любым из зондов с одной из кои акпых площадок 3 псграньцой схемы ток через сооееествуО.Щий РЕЗЦСОР Е ЦРОТСКас Т, ЧСОРИВОДИТ КОЯБ)СНИС высокого потенциала па одном цз Входов злемста НЕ- ИЛИ 25 и цизкого поесцццана на его Выходе, Тр 1 гср 26 пр этом е пс 1)еорас,ВСс)1,свидстеньствуег обогсутссвконтакта зонда с когтактцой плОцалкОЙ иГ 1 егрссьОЙ схссчь. 1,мер...
Устройство для контроля контактирования в зондовых установках
Номер патента: 1001235
Опубликовано: 28.02.1983
МПК: H01L 21/66
Метки: зондовых, контактирования, установках
...слоя 9. Эта поверхность лежит в плоскости 24, которая перпендикулярна главной оси 25 зонда. Плоскость 24 отстоит от вершины сферической рабочей части в зондах на расстоянии, равном разности между толщиной Ь слоя металла каждой контактной площадки и суммой высот микронеровностей на поверх-,. ностях сферической рабочей части 7 и контактной площадки интегральной схемы 12.1:8-К )1001235 Форщла изобретения жиме измерения параметров интегральной Ъ =-р +р 1г гЮ 40 где- толщина металлическогослоя контактной площадки;Ъ - расстояние от вершины 45 аферич ес кой рабочей ч ас тизонда до поверхности, образованной торцами разгелительного диэлектрического и внешнего металлического слоев;Й . - параметр шероховатости контактной площадки;й-...
Устройство для контроля контактирования зондовых установок
Номер патента: 1023332
Опубликовано: 15.06.1983
Авторы: Ажоткин, Кушуль, Углева, Файгенбаум
МПК: G06F 11/30
Метки: зондовых, контактирования, установок
...триггер, источник,напряжения и группу резйсторов,15 причем переключающий контакт каждогореле соединен с соответствующим зондом, размыкающий контакт - с соответствующим входом группы входовизмерительного узла, а замыкающий20контакт через соответствующий резистор группы - с выходом источниканапряжения, введены два элемента И,элемент НЕ, ключ, элемент ИЛИ, узел синхронизации, счетчик и группа усилителей,причем входы элемента НЕ-ИЛИ черезсоответствующие усилители группыподключены к замыкающим контактамреле группы,а выход - к первому вхо-ду первого элемента И и через элемент НЕ к первому входу второго эле-,мента И, тактовый выход узла синхронизации соединен с вторыми входамипервого и второго элементов И,выход переключения режима - через...
Устройство для контроля контактирования в зондовых установках
Номер патента: 1102062
Опубликовано: 07.07.1984
МПК: H05K 1/18
Метки: зондовых, контактирования, установках
...8 и внешний металлический 9 слои, блоки 10 индикации контактирования, блок 11 измерений со схемой внешних элементов, двухпозиционные коммутаторы .12-16, каждый из которых имеет соединения замыкающим контактом с соответствующим входом блока 1 О индикации контактирования, размыкающим - со схемойвнешних элементов и блоком 11 измерений и подвижным контактом с внутренним металлическим слоем 6 зонда,дополнительные двухпоэиционные коммутаторы 17-21, каждый из которыхимеет соединения размыкающим контактом с вторым входом блока 10 индикации замыкающим контактом - свнутренним металлическим слоем 6зонда.Устройство работает следующим образом. Проверяется отсутствие паразит- ного контактирования между внутренним металлическим слоем зонда б и...
Способ изготовления зондовых головок
Номер патента: 1206711
Опубликовано: 23.01.1986
Авторы: Ли, Нозиков, Утишев, Цопкало
МПК: G01R 1/06
Метки: головок, зондовых
...3, содержащийвинты 4 для фиксации его в заданномположении, направляющие стойки 5,установленные на оси симметрии столика 2 с определенным шагом, Наосновании 1 установлена каретка 6с возможностью продольных перемещений посредством винтовой передачи 7,закрепленной на стойке 8, и неподвижная стойка 9 для крепления концов проволок 10, другой конец которых крепится к подвижной каретке6 (крепление проволок может осуществляться любым способом - винтами, как это условно изображено на, чертеже, или зачаливанием, защемлением и т.д.),Пример изготовления одного извозможных вариантов зондовых головок. Для изготовления зондовых головок на устройстве закрепляют четыре проволоки 10 на каретке 6 и стойке 9. .Проволоку располагают так, чтобы по обе стороны...
Способ формирования изображения в сканирующих электронно зондовых системах
Номер патента: 1231547
Опубликовано: 15.05.1986
МПК: H01J 37/28
Метки: зондовых, изображения, системах, сканирующих, формирования, электронно
...помощью цифрового генератора развертки, По предварительно вычисленныммассивам синусов и косинусов определяется координата следующей точки 5 10 15 20 25 30 35 затем вычисляется разница координаты следующей и текущей точек и производится перемещение луча. При таком алгоритме развертки обход кадра (- 128 витков) занимает 28 с, Если задается постоянная круговая частота разверток (фиг.2), то линейная скорость обхода по внешним виткам больше, чем по центральным, т,е. по мере приближения к центру на формирование каждого элемента изображения приходится большее время и большее число дискретизованных шагов при цифровой развертке, При этом лучше прорабатываются мелкие детали в центре экрана (поля зрения), т.е, избирательно отображается с...
Устройство для регистрации и обработки зондовых характеристик
Номер патента: 1399646
Опубликовано: 30.05.1988
Автор: Оленский
МПК: G01D 1/06
Метки: зондовых, регистрации, характеристик
...который прикладывается к неинвертирующему входу операционного усилителя 3. Напряжение к зондовой клемме прикладывается от встречно включенных источников напряжения 6, 9, причем от источника 6 отбирается только часть его напряжения, определяемая регулируемым делителем, состоящим из резистора 7 и транзистора 8, Зондовое напряжение прикладывается к инвертирующему входу операционного усилителя 3, который совместно с ЯС-цепочкой 4 образует пропорционально- интегральный регулятор напряжения. Напряжение рассогласования, т. е. разность между напряжением на зонде и напряжением на выходе цифроаналогового преобразователя, усиливается операционным усилителем 3 и прикладывается к светодиоду оптрона 5. фотодиод оптрона 5 включен в базовую цепь...
Образец для зондовых измерений удельной проводимости и эдс холла
Номер патента: 1468325
Опубликовано: 15.10.1991
Авторы: Байрамов, Веденеев, Ждан, Клочкова, Свешникова
МПК: H01L 21/66
Метки: зондовых, измерений, образец, проводимости, удельной, холла, эдс
...геометрические размеры которого з = 2 мм, а = 10 мм, Ь = 2 мм, с = 2 мм, Затем образец отмывают в трихлорэтилене, его поверхность освежают под равливанием в смеси 3:1 азотной и плавиковой кислот. Контакты наносят азидным способом, т.е. берут навеску 2 мг азида серебра и импульсом. электрической энергии иницлируют взрывное направленное разложение навески.Если потенциальные контакты расположены на боковых поверхностях выступов (см, чертеж), то плоскость каждого из потенциальных контактов 1 - 4 практически перпендикулярна электрическому полю в образце и. следовательно, шунтирование-а" Составитель И,ПетровичГехред М,Мсргентал Редактор узнецова ректор С,Черни Тираж Подписное царственного комите 1 а по изобоетениям и открытия 113035,...
Термостолик для проведения низкотемпературных зондовых измерений
Номер патента: 1641146
Опубликовано: 30.06.1992
Авторы: Смирнов, Хабаров, Чернов
МПК: H01L 21/66
Метки: зондовых, измерений, низкотемпературных, проведения, термостолик
...зонды могут быть как электрические, так и оптические,Для снижения требований к системеподачи хладагента и условиям внешнейсреды после установки образца на пьедестал термостолика окно кожуха закрывают пластиной 10, имеющей по крайней мере одно окно 11 Образец 4 устанавливают так, чтобы его область,предназначенная для зопдоных измерений, находилась под окном пластины,55закрь 1 нающей окно кожуха. Зонды кобразцу подводят через окно пластины,закрывающей окно кожуха (фиг, 1-4),Вариант термостолика (Фиг, 4), позволяющего использовать жидкий хладагент, работает аналогичным образом.В этом случае жидкий хладагент - жидкий азот заливают через патрубок нполость. После этого подают мощностьна испаритель 12 и устанавливают,необходимую скорость...
Устройство для зондовых измерений температурных параметров разреженных ионизованных газовых потоков высокой скорости
Номер патента: 1793278
Опубликовано: 07.02.1993
Авторы: Давыдов, Зайцев, Никитин, Пророков, Семенов
МПК: G01K 13/02
Метки: высокой, газовых, зондовых, измерений, ионизованных, параметров, потоков, разреженных, скорости, температурных
...цель достигается за счет того, что термочувствительный зондовый элемент выполнен в виде сферической электропроводной микромодели черного тела на входном 45 торце лейкосапфиравой волоконной оптики и фотоэлектрическим приемникам на выходном,Применение универсального (термо-оптикоэлектрического) зонда, который сочета О ет воэможности термоаптического и электрического зондов, позволяет повысить информативность зондовых измерений температурных параметров разреженных ионизованных газовых потоков высокой 55 скорости путем одновременного измерения . яркастной температуры термочувствительного зондоваго элемента и электронной и ионной компонентам зондовога тока вольтамперных характеристик.Целью изобретения является повыше ние информативности...
Способ изготовления тестовых структур для электронно зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути p-типа проводимости
Номер патента: 1378711
Опубликовано: 20.08.1999
Авторы: Кулешов, Панин, Редькин, Юнкин, Якимов
МПК: H01L 21/306
Метки: зондовых, кадмия-ртути, методик, основе, п-типа, проводимости, структур, теллурида, тестовых, электронно
Способ изготовления тестовых структур для электронно-зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути р-типа проводимости, включающий обработку поверхности исходного кристалла полирующим бромсодержащим составом с последующим напылением медленно диффундирующих металлов из ряда: Al, Cr, Pb, Mn, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества тестовой структуры за счет повышения ее чувствительности в режиме наведенного тока для диагностики материала теллурида кадмия-ртути, перед напылением металла в течение 10 мин проводят плазменную обработку поверхности теллурида кадмия-ртути в ВЧ диодной системе в атмосфере Ar при давлении от 5