Забила — Автор (original) (raw)

Забила

Способ получения адгезива позитивных фоторезистов для фотолитографии

Номер патента: 1680700

Опубликовано: 30.09.1991

Авторы: Астапович, Забила, Илькевич, Масалов, Притыцкая, Сосновский

Метки: адгезива, позитивных, фотолитографии, фоторезистов

...г).Найдено, %: С 65,01; Н 6,80; .Тх 8,58.Вычислено, %: С 65,48;.Н 6,38;Т 2. 8,44. 25ИК-спектры (11 а-г) содержат полосы поглощения, характерные для основных структурных фрагментов: 1100 см(колебания эпоксицикла). 30Зффективность полученных продуктов в качестве адгезивов для позитивных фоторезистов оценивалась повеличине выхода годной продукции.Метод фотолитографии является одним из важнейших в ьякроэлектроннойтехнологии и имеет целью нанесениена подложку "рисунка" определеннойконфигурации, Метод включает несколько .операций: подготовка подложки, нанесение фоторезиста, засвечивание,проявление, травление, проверка качества проведенного процесса, Операции фотолитографии повторяются в процессе изготовления сложной интегральной схемы иногда...

Устройство управления для испытания самоходных объектов

Номер патента: 1675851

Опубликовано: 07.09.1991

Авторы: Данилов, Забила

МПК: G05B 19/43

Метки: испытания, объектов, самоходных

...импульсов в зависимости от комбинации сигналов, поступающих от датчика 3 муфты сцепления трактора, командоаппарата 1, датчиков 4 и 5,Источни 27 вторичного питания обеспечивает стабилизированным питанием генератор 24 импульсов, усилитель 25 мощности и логический блок 26,Устройство работает следующим образом.Возвратно-поступательное перемещение штока пневмоцилиндра 7 обеспечивается периодической подачей напряжения на соленоид электропневмоклапана 8, которое подается с электронного логического блока 2. В исходном положении рычаг 14 управления коробкой передач находится в "нейтрали". Под воздействием ограничителя 19 рычагшток 23 перемещается в положение А, при этом контакты датчика 5 ноидов электропневмоклапана 8 отсутствует, поршневая...

Стекло

Номер патента: 1655923

Опубликовано: 15.06.1991

Авторы: Бычко, Грожик, Губина, Забила, Захаров, Поливода, Ходский

МПК: C03C 3/072

Метки: стекло

...устойчивость пленок ф потери массы через 1 сут) в Н 20 0-3, в 10-ном растворе аммиака до 30. 2 табл,карбонаты магния и стронция квалификации "х.ч.", "о.с.ч.",Исходные компоненты отвешивают в соответствии с заданным составом и смешивают, синтезируют стекла при 1350"С, измельчают их и отсеивают фракцию стекла с размером зерен 90 - 200 мкм. Полученный порошок стекла используют для формирования стеклопленок методом термического испарения в вакууме с применением резистивного испарителя, При использовании электронно-лучевого испарителя из гранулята стекла после его повторного расплавления изготавливают методом отливки стеклянную шайбу, соответствующую форме тигля электронно-лучевого испарителя,Физико-химические св к приведены в табл,...

Стекло для получения тонкопленочных покрытий

Номер патента: 1520029

Опубликовано: 07.11.1989

Авторы: Бычко, Грожик, Забила, Литвиненко, Поливода, Ходский

МПК: C03C 3/085

Метки: покрытий, стекло, тонкопленочных

...стекла подается на испаритель. Испарителем служит вольфрамовая полоса размером 70120,2 мм. После откачки установки до требуемой степени вакуума (5 - 7)х 10Па испаритель нагревается до 45 1900 С (контроль температуры осуществляется с помощью оптического пирометра "Проминь") и на него вибробункером подается порошок стекла. При этом на поверхности расположенных над испарителем кремниевых пластин диаметром 40 мм происходит формирование тонкой стеклопленки. Формирование пленки толщиной 0,8 мкм происходит в зависимости от интенсивности подачи55 порошка стекла на испаритель за время 5 - 10 мин.Кроме предлагаемого способа формирования пленок с помощью резистивного испарителя возможен вариант термического испарения с применением...

Устройство для автоматического вождения трактора по замкнутой траектории

Номер патента: 1134126

Опубликовано: 15.01.1985

Авторы: Данилов, Забила, Приходько, Шахбазов

МПК: A01B 69/04

Метки: вождения, замкнутой, траектории, трактора

...2, а второй выход - с вкодои исполнительного механизма 9 экстренной остановки трактора 1.Переключатель 7 режима работы имеет подпружиненный подвижный кон такт 10 и неподвижные контакты 11-14. Контакты 11 и 12 соединены с входом исполнительного механизма 6 поворо-,та, а 13 и 14 - с входом исполнительного механизма 9 экстренной остановки трактораУстройство работает следующим образом.При движении трактора 1 по траектории к внешней стороне кольцевого трекаего границы АВ), исполнительный механизм 6 поворота вращает рулевое колесо 5 по часовой стрелке. Удаление трактора 1 от якорной оси 4 вызывает растяжение упругого звена 2.При наибольшем допустимом приближении трактора 1 к внешней кромке трека, определяемом соответствующей настройкой...

Устройство программного управления, например, полигонными испытаниями машин

Номер патента: 1108424

Опубликовано: 15.08.1984

Авторы: Забила, Киреев

МПК: G05G 21/00

Метки: испытаниями, машин, например, полигонными, программного

...считывания снабжен подпружиненньии клавишами, сопряженными с контактами.В месте размещения кодирующего механизма установлены продольные брусья и въездные направляющие для ограничения траектории движения машины.На фиг. 1 изображено размещение трактора и устройство программного управления на испытательном полигоне; на фиг. 2 - схема устройства программного управления.Полигон со сложной траекторией движения тракторов как правило представляет собой трек, ограниченный тросами системы автовождениц 1 и 2, с узлами 3 для ограничения траектории движения машины против смещения трактора в поперечном направлении и с, кодирующим механизмом 4 с программными элементами. Узлы для ограничения траектории движения машины располагаются на поверхности...

Орбитальная гидромашина

Номер патента: 953267

Опубликовано: 23.08.1982

Авторы: Васильев, Забила, Калиновский

МПК: F04C 2/10

Метки: гидромашина, орбитальная

...18 и 19 соединены соответственно с кольцевыми проточками 20 и .21, выполненными на наружной цилиндрической поверхности крышки. Проточ"ки 20 и 21 соединены соответственнос отверстиями 22 и 23, выполненнымив крышке 5 для соединения гидромашиныс магистралями гидросистеьи. В тойке крышке имеется отверстие 24 дляотвода жидкости, проникающей во внутреннюю полость гидромашины из рабочей камеры,При работе гидромашины в режнменасоса кулачок 1 приводится во вращение от ведущего вала 7. При этомвыступы кулачка 1 перемещают ролики14 вдоль пазов обоймы 2, воздействуяодновременно на внутреннюю поверхность кольца 13, которое совершаетсложное движение, вращаясь одновременно относительно своего центра ицентра вращения кулачка 1, Ролики,находящиеся с...

Зажигательный горн кольцевой агломерационной машины

Номер патента: 908869

Опубликовано: 28.02.1982

Авторы: Забила, Крижевский, Лукьянов, Лысенко, Подлубный, Сальников, Фрадкин, Шурхал

МПК: C22B 1/14

Метки: агломерационной, горн, зажигательный, кольцевой

...ряда к расстоянию е между осями горелок соседних рядов (шаг рядов горелок) равно 0,5-0,75, Величины пределов изменения соотношений установлены. исходя из необходимости обеспечения равномерного теплового расширения сводовых плит трапециевидной формы (раэйая длйна ЗО оснований) при их нагреве до 1100 908869Продолжение таблицы Практическиоднородный 0,70 0,75 О, 108 О, 148 Неоднородный Е,ге Неоднородньй О, 0145 1 О О 45 Практическиоднородный 0,122 0,080 0,50 Однородный 0,65 Практически однородный 0,75 0,116 0,150 0,80 Неоднородный формула изобретения Зажигательный горн кольцевой агломерационной машины, выполненный й из-секции трапециевидной формы, со 35 держащий внутреннюю и наружную стенки, свод, горелки и расположенныерядами трубопроводы...

Состав покрытия для цветных фотошаб-лонов

Номер патента: 850629

Опубликовано: 30.07.1981

Авторы: Забила, Захаров, Пошивайло

МПК: C04B 41/06

Метки: покрытия, состав, фотошаб-лонов, цветных

...фоторезисторов лежит в области длин волн до 520 нм,то использование маскирующих слоев цветных фотошаблонов, полученных по известнойтехнологии, с применением мишенипредлагаемого состава не позволяетиспользовать в процессе фотолитографии фоторезисторы,спектральная чувствительность которых лежит в областидлин волн 435-520 нм,Цель изобретения - улучшение оптических характеристик и повышениемеханической про;.ности .к истираниюпокрытия,Поставленная цель достигается тем,что состав покрытия для цветных фотошаблонов, содержащий железо, ванадий и добавку активного металла,в качестве добавки содержит цирконийпри следующем соотношении компонентов х, вес.В:(Е ( Е 3 ОВанадий 20-25цирконийОСНОБаи 1111 Бь)СОКОЙ;"ЛЕЗ.а 1 ИЧЯСКОИ Г 1)ЗОЧГЗЛ 1 (Б Н 1...

Установка для испытаний гидравлических моторов

Номер патента: 726367

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Васильев, Забила, Калиновский

МПК: F04B 51/00

Метки: гидравлических, испытаний, моторов

...5 балансировочной машины 1 прикреплен к штоку 6 гидроцилиндра 7, имеющего поршень 8, и к динамометру 9, Внутренняя полость 10 гидроцилиндра 7 соединена-5где Р - показания динамометра 9,- плечо расположения динамометгра 9 относительно оси балансировочной машины.1 ОИспользование изобретения в стендовом оборудовании позволит повысить точность и уменьшить время измерений. 37 МЗс входным трубопроводом 3, а внутренняяполость 11 гидроцилиндра 7 соединена свыходным трубопроводом 4. Установкаимеет насос 12, соединенный с входнымтрубопроводом 3, и дроссель 13, соединенный с выходным трубопроводом 4 и баком 14.Установка работает следующим обраэЬм;Жидкость из бака 14 подается на-,сосом 12 во входной трубопровод 3 ив полость 10 пилиндра 7, Из...

Состав для металлизации керамики

Номер патента: 582235

Опубликовано: 30.11.1977

Авторы: Гиндулина, Забила, Ключерева, Лиенко, Макеева, Манухина

МПК: C04B 41/14

Метки: керамики, металлизации, состав

...компонентов, вес. %: молибден или вольфрам 90 - 95, ванадий 5 - 10.Выбор добавки ванадия был произведен на основе его высокой адгезионной способности к керамике прп напылении; способности образовывать при термообработках соединения, являющиеся активаторами взаимодействия металлизационного слоя с керамикой. Механическая прочность спаев в этом случае возрастает до 200 МПа.Количество ванадия определяют на основе данных механической прочности. Добавка ванадия в количестве менее 5 вес, % недостаточна для протекания процессов взаимодействия компонентов покрытия с компонентами керамики (прочность составляет 167 МПа),582235 Введение добавки ванадия в количестве более 10 вес. % приводит к сильному окислению ванадия, что вызывает в свою очередь...

373700

Номер патента: 373700

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Забила, Приходько, Устройство

МПК: G05B 19/06

Метки: 373700

...ток и ця выходепереключателя появляется сигнал, который подается па базу трлнзцсторя 6, нл котором собрзгц усцлцтелгяый клск 1 д, ц Открылст еГО.В обмотку соленоида 4, являющуюся нагруз кой коллекторцой цепи транзистора. подаетсяусцлеццый сцгцгл и вызывает сраоатывацие электрогц,рдлцчсского золотцнкз исполнительного механизма.При введении экрана В щель чувститсльно го элемента переключателя происходит срывгенерации. Ня Выходе:лемептд исгезгет элсктрический сигнал, что приводит к Обесточцвяшпо обмотки соленоида 4 ц прекращению работы электрогцдрявлического зо.чотцика, то 25 есть прекращается выполнение команды исполнительного механизма по управлению определенным органом упрявлецця машины.Длительность каждой команды определяется временем...

Знакоформирующее устройство

Номер патента: 344432

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Забила, Пакулов, Шевченко

МПК: G06F 3/153

Метки: знакоформирующее

...чем наединицу, в каждом такте опроса многообмоточных трансформаторов, а быстродействиеизвестных устройств ограничено наличием цепей переноса в реверсивных счетчиках,Предлагаемое устройство отличается тем,что в нем выходы ферритовой матрицы подключены к счетным входам триггеров, выходы которых соединены с преобразователямикодов. етение относится к вычислительнои и может быть использовано в аппарабраження буквенно-цифровой инфорВ таблице в качестве примера приведены25 коды и состояния триггеров по координатам Х и т при воспроизведении цифры 5,344432 Состояния триггеров по координатамРедактор И. Орлова Заказ 2694/11 Изд.1189 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская...

Знакогенератор

Номер патента: 285348

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Безруков, Забила, Пакулов, Рагузин, Уль

МПК: H03K 3/45

Метки: знакогенератор

...И - генератор пилообразного напряжения по координате ); 14 - модулятор яркости электроннолучевой трубки (ЭЛТ); 15 - горизонтальные отклоняющие пластины ЭЛТ; 1 б - вертикальные отклоняющие пластины ЭЛТ.Устройство работает следующим образом.Код адреса символа 1 поступает на приемный регистр 3 по разрешающему сигналу 2, Выходы приемного регистра 3 связаны со входами дешифратора 4 и выходами линейки символов б. Выходной сигнал дешифратора после соответствующего усиления с помощью одного из усилителей тока опроса 5 подается на одну цз обмоток опроса линейки символов б. Считанные сигналы с выходов линейки символов поступают на линию задерж285348 Предмет изобретения Составитель Ю, Розенталь Редактор Ю, Д; Полякова Техред А. А, Камышникова...